SAL1000G是一款包含手套箱小型桌面ALD原子層沉積系統,具有良好的均勻性及*的階梯覆蓋性能,使用戶能夠精確控制每個原子層的沉積。通過手套箱,可在惰性氣體環境下進行操作,并且可以防止吸入納米級顆粒。該設備是小型且經濟實惠的型號,與主機和控制電源相結合,追求僅在桌面上更容易操作。 它能夠處理多達4“晶圓的沉積,并對每個部件采取安全措施。
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